Nano Positioning Stage
- High Accurance Stage
- Nano Positioning Stage
나노 포지셔닝 스테이지는 높은 안정성의 구조, 나노 수준의 서보 제어 능력, 그리고 장비 정확도를 향상시키는 소프트웨어 솔루션을 갖추고 있습니다. 이는 기계, 전기, 소프트웨어의 완벽한 통합을 보여주며, 특히 반도체 산업에서 경쟁력 있는 솔루션을 제공합니다.
| In-position stability | ±2nm |
|---|---|
| Accuracy | ±0.5um |
| Repeatability | ±0.1um |
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