반도체/FPD(평판 디스플레이) 산업에서 요구하는 공정 사양에 맞춰 개발된 정밀 모션 에어베어링 스테이지로 고객에게 최적화된 기구/제어 솔루션을 제공합니다. 이 스테이지는 저전압 모터 및 진공 프리로드 에어 베어링, 동적 카운터 밸런싱 기술, 그리고 질량 보상 알고리즘 등 높은 기구 및 제어 사양에 따라 수천 분의 1초 단위로 정확한 움직임과 저속 모션에 따른 속도 정속성, Yawing error(진직성 포함) 최소화을 가능하게 합니다.