HIWIN 진공용 리니어 모터는 진공 환경에서의 낮은 가스 방출률을 고려한 다양한 모델을 제공하며, 최대 10⁻⁸mbar의 고진공 환경에서도 안정적으로 작동합니다.
전용 자기장 차폐 설계는 맞춤 제작이 가능해 외부 자기장 간섭을 효과적으로 차단하고, 반도체 전자빔(Electron Beam) 공정의 안정성을 보장합니다.
또한 고객의 요구에 따라 높은 힘 밀도를 구현할 수 있도록 진공 모터를 맞춤 제작할 수 있습니다.

- 최대 10⁻⁸mbar 고진공 환경 대응

- 맞춤형 자기장 차폐 기능

- 맞춤형 세정 및 탈기 테스트 서비스 제공