로터 기하 구조의 최적화를 통해 관성을 크게 줄였으며, 고해상도 엔코더와의 결합으로 뛰어난 동적 특성을 구현할 수 있습니다.
이로 인해 빠른 응답성과 높은 속도, 대량 처리 능력이 요구되는 다양한 제품 검사 및 제조 공정에 적용할 수 있습니다.
Nano Positioning Stage
HIMC3
Drive E1
Drive E2
Direct Drive Motor-DMN
Direct Drive Motor-DMT