RWDE Wafer Robot
- Semiconductor Transfer Device
- Wafer Robot
직접 구동 방식의 모터 전송 설계를 적용하였으며, 반복 정밀도는 ±0.1mm입니다.
선택 사양으로 전동 플립 모듈을 지원하며, 방사형이 아닌 픽 앤 플레이스 동작도 가능합니다.
| 반복 정밀도 | ±0.1mm |
|---|---|
| Z축 최대 이동 거리 | 500mm |
| 정격 하중 | 1~3kg |
