HIWIN의 EFEM(웨이퍼 운반 및 로딩 시스템)은 완전한 자동화 시스템입니다.
수직 통합과 자사 고유의 제어 시스템을 기반으로 HIWIN은 웨이퍼 ID 판독, 캐세트 RFID 감지, 웨이퍼 가장자리 정렬, 탭 감지, 스테이션 존재 감지 등 다양한 주변 장비에 대해 유연한 구성 옵션을 제공합니다.
또한 제품 사양에 따라 웨이퍼 로봇을 조합할 수 있어, 다양한 공정과 응용 분야에 맞는 고객 맞춤형 서비스를 효과적으로 제공함으로써 고객의 장비와 공정을 더욱 효율적이고 경쟁력 있게 만들어 줍니다.