HIWIN 웨이퍼 이송 시스템(EFEM)은 완전한 자동화 시스템으로, HIWIN은 수직 통합을 통해 자사에서 개발한 제어 시스템을 탑재하였습니다.
이 시스템은 유연하게 Wafer ID 판독, 웨이퍼 캐리어 RFID 감지, 웨이퍼 위치 보정, 칩 돌출 감지, 스테이지 위치 감지 등 주변 구성 요소와의 통합 구성이 가능하며, 제품 사양에 따라 적합한 웨이퍼 로봇을 탑재하여 다양한 공정 및 응용 분야의 고객에게 맞춤형 서비스를 제공합니다.
이를 통해 고객 장비와 공정의 효율성과 경쟁력을 효과적으로 향상시킬 수 있습니다.